市工信局首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄（2020年版）（征求意見稿）
| 1.高端能源裝備 | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 1.1 | 深海域海浪發電機組 | 套 | 單位面積內波浪能轉化效率≥70%；單機機組功率范圍覆蓋(2～5)MW；機組模塊功率≥2kW；機組尺(chi)寸≥(20×10×8)m |
| 1.2 | 整套燃料電池儲氫容器高端制造及檢測設備 | 套 | 容器工作壓力≥70MPa；容(rong)器容(rong)積覆蓋(100～450)L；工(gong)作環境溫度覆(fu)蓋(gai)(-40～85)℃；合格率≥99% |
| 1.3 | 220kV蒸發(fa)冷卻電力(li)變(bian)壓器 | 臺 | 電壓等級220kV；容量≥75MVA；溫升≥10K(基(ji)于(yu)現有電力變壓器) |
| 1.4 | 油田加熱爐管理集控裝置 | 臺 | 熱效率≥5%；過(guo)剩空氣系數(1.2～1.3)；排煙溫度(130～140)℃；節氣(qi)率≥3% |
| 1.5 | 600MW機組(zu)凝汽器 | 臺 | 循環水量≥67700m3/h；抽氣流量≥2500m3/h，設計背壓≥4.67kPa；凝汽(qi)器冷卻面(mian)積(ji)≥38000m2；左右(you)側平均水阻≤46.3kPa；管束區整(zheng)體傳(chuan)熱系數≥3000W/(m2·K) |
| 1.6 | 節能熔鋁爐 | 臺 | 轉爐鋁水溫度范圍(710～730)℃；熔化(hua)速(su)度范(fan)圍(1.0～1.2)×104kg/h；天然氣能耗≤58立方米/噸 |
| 1.7 | 燃料電池汽車用氫氣瓶多工位纏繞系統 | 套 | 纏繞機工位數≥5；單軸工件最(zui)大質量≥100kg；最大纏(chan)繞(rao)角≥360°；主軸(zhou)轉速≥60 rpm |
| 1.8 | 精餾系統設備 | 臺 | 產品純度≥99.9%(v/v)；水含量≤0.1%(m/m)；能耗≤0.8kW/L |
| 2.成形及加工專用裝備 | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 2.1 | 數控機床與機器人 | ||
| 2.1.1 | 管道爬行機器人 | 臺 | 檢測速度≥9°/s；管(guan)徑范圍覆蓋≥(270-330)mm；自動伸出(chu)壁(bi)爪數≥6(下降(jiang)60mm) |
| 2.1.2 | 高精度移動作業機器人 | 臺 | 移動作業機器人定位誤差≤±5mm；物料取(qu)放定位誤差(cha)≤±0.05mm；24小(xiao)時不間斷自動供(gong)氣/充電 |
| 2.1.3 | 打磨機器人 | 臺 | 力反饋誤差≤±0.1N；位置誤差≤±0.06mm；毛刺殘留高度≤0.3mm |
| 2.1.4 | 高精度數控機床 | 臺 | X/Y/Z定(ding)位精(jing)度≤±0.001mm；X/Y/Z重復(fu)定位精度≤±0.001mm；主軸轉速≥60000rpm |
| 2.1.5 | 數控坐標鏜床 | 臺 | 坐標精度≤±0.003mm；圓度(du)≤0.003mm；表面粗(cu)糙(cao)度≤Ra0.8μm |
| 2.2 | 激光加工設備 | ||
| 2.2.1 | 高分辨率面曝光3D打印(yin)機 | 臺 | 單像素50μm的最大打(da)印尺寸≥(384×216×300)mm；打(da)印最小(xiao)曝(pu)光像素≤2μm；面曝光光固(gu)化(hua)分辨率≥3000萬像(xiang)素 |
| 2.2.2 | 精密激光錫球焊錫機 | 臺 | 焊接尺(chi)寸誤差≤±10μm；產品最小間(jian)隙≤100μm；產(chan)品錫球(qiu)規(gui)格覆蓋(100～1500)μm |
| 2.2.3 | 光纖激光切割機 | 臺 | 切割鋼板厚度覆蓋(30～50)mm；X/Y軸(zhou)定位精度≤±0.02mm/m； |
| 切割速度≥0.18m/min | |||
| 2.2.4 | 自動耦合激光焊接機 | 臺 | 角度誤差≤±0.02°；焊槍(qiang)位(wei)置調節(jie)誤差≤±1μm，激光(guang)輸出能量(liang)差異調節相對誤差≤±3% |
| 2.2.5 | 千瓦級高功率光纖激光清洗機 | 臺 | 激光功率≥2000W；掃描(miao)寬度(du)覆蓋(10～80)mm；清洗效率≤3min/m2 |
| 2.2.6 | OLED激光打標(biao)設備 | 臺 | 整體打標位置誤(wu)差≤±100μm；打碼尺寸誤差≤±20μm；Tact time≤4.5s； |
| 打碼質量A等級(ISO15414)≥70% | |||
| 2.2.7 | OLED激光鉆(zhan)孔切割設備 | 臺 | 節拍時間≤4.5s；檢測誤(wu)差(cha)≤±5μm；切割尺寸(cun)誤差≤±30μm |
| 2.2.8 | 大功率多模連續光(guang)纖激光(guang)器 | 臺 | 平均輸出功率≥25kW；輸(shu)出功率調節(jie)范(fan)圍覆蓋(10%-100%)；光束質量：BPP≤9 |
| 2.3 | 增材制造設備 | ||
| 2.3.1 | 高精度陶瓷3D打印機 | 臺 | 成型尺寸≥(96 ×54 ×200)mm；成(cheng)型尺(chi)寸誤差≤±10μm；成型(xing)速度(du)≥600層(ceng)/小時 |
| 2.3.2 | 非金屬材料超高速光固化增材制造裝備 | 臺 | 成型尺寸≥(192 ×108 ×300)mm；最小層厚(hou)≤1μm ；成型速(su)度≥2100mm/h |
| 2.3.3 | 金屬3D打印機 | 臺 | 跳動誤差≤±0.01mm(行程700mm)；基(ji)板升降模塊：平(ping)行度≤0.01mm，重(zhong)復定位(wei)精(jing)度≤±0.05mm；打印尺寸誤差≤±0.05mm；打印(yin)效率≥120cm3/s |
| 2.3.4 | SLA 3D光固化成型的雙(shuang)掃描(miao)頭打印機 | 臺 | 成型尺寸≥1700mm(X)×800mm(Y)×600mm(Z)；打印準確度：最大允許誤(wu)差≤±0.1mm(尺寸(cun)≤100mm)，最大允許誤(wu)差≤±0.1%(尺寸＞100mm) |
| 2.4 | 其他成形加工設備 | ||
| 2.4.1 | 超大型綠色智能網聯壓鑄機 | 臺 | 鎖模行程≥2300mm；鎖(suo)模力≥60000kN；增壓建壓時間(jian)≤30 ms |
| 2.4.2 | 多軸拋光設備 | 臺 | 軸數≥3；拋(pao)光后表面尺寸誤(wu)差≤±0.015mm ；重復定(ding)位精度(du)≤±0.01mm；表面粗糙度 Ra≤0.01μm；產品合(he)格率>98% |
| 2.4.3 | 全自動多站式輪胎成型機 | 臺 | 最大系統壓力≥15Mpa；鎖(suo)模力(li)≥5880kN；射出壓力≥15480N/cm2 |
| 2.4.4 | 高端材料高溫燒結窯爐 | 臺 | 內部有效總長≥13m；窯車長度≥1.8m；燒成溫度(du)≥1250℃； |
| 單次燒成時間≤32h；產量≥288件(jian)/窯(yao) | |||
| 2.4.5 | 非金屬內膽復合材料液化石油氣氣瓶生產線 | 套 | 纏繞機工位數≥5；最大纏繞(rao)角≥360°；X/Y軸最大(da)工作速度≥20m/min |
| 2.4.6 | 塑料燃油箱打孔焊接生產線 | 套 | 產品加工周期≤75s；產(chan)品切換時間(jian)≤30min；產品合格率≥99.8% |
| 2.4.7 | 汽車零部件機器人自動噴涂系統 | 套 | 軸數≥6；手(shou)腕負重(zhong)≥98N；手腕工(gong)作范圍(wei)覆蓋(-140°~+140°)；節(jie)拍≤45s/pcs；產品合格率(lv)≥96% |
| 2.4.8 | 自動分板裁邊線 | 套 | 圖像識別尺(chi)寸誤差≤±0.2mm；裁切加工尺寸(cun)誤差≤±1mm；最快生產節拍≥8pcs/min |
| 2.4.9 | 在線真空自動灌膠線(含晾(liang)干(gan)線) | 套 | 灌膠產能≥1200臺/小時(E6標準器)；混合出膠速度≥90g/s，重復精(jing)度≤±2%；灌膠方式：在線式三級灌膠頭同時灌膠 |
| 2.4.10 | 點料機 | 臺 | 管電壓覆蓋(gai)(20～80)kV；掃描高度(du)≥85mm；X射線(xian)泄漏量≤1μSv/h |
| 2.4.11 | 自動化涂覆涂裝設備 | 臺 | 重復定位精度≤±0.08mm；線速覆蓋(0.5～3)m/min；最(zui)大負載≥6kg |
| 2.4.12 | 管式等離子體淀積爐 | 臺 | 溫度覆(fu)蓋(350～600)℃，溫度誤差≤±2℃；漏氣率：關(guan)泵后，壓力(li)上升率≤1 Pa /min，真空度≤3Pa；下垂量≤10mm(載(zai)荷75kg砝碼)；工(gong)藝指標：片內(nei)均(jun)勻性≤±3%，片間均勻性(xing)≤±2%，批(pi)間(jian)均勻性≤±2% |
| 2.4.13 | 多工位自動輪轉模切機 | 臺 | 產品尺寸≥460mm；套切尺(chi)寸誤差≤±0.15mm；生產速(su)度(du)≥50m/min |
| 2.4.14 | 自動涂布機 | 臺 | 產速≥7pcs/min；膜(mo)厚覆(fu)蓋(8～14)μm；膜均勻性≤±10% |
| 2.4.15 | 龍門型氧化全自動生產線 | 套 | 移動速度≥15m/min；數量≥540件(jian)/桿；節拍≤5分鐘(zhong)/桿；產(chan)能≥325m2/h |
| 2.4.16 | SMT載具(ju)整線回流系統 | 套 | PCB上料定(ding)位精(jing)度≤±0.1mm，適應載具尺寸覆蓋(gai)[(100×100)mm～(400×400)mm]；整線產能≥720pcs/h；載具(ju)寬度覆(fu)蓋(100～170)mm；節拍≤12s/pcs |
| 2.4.17 | 機器人全自動噴涂生產線 | 套 | 輸送停機位置誤差(cha)≤±1mm；混線生(sheng)產準確率≥99.9%；輸送速度≥3m/min；噴(pen)涂節拍≤3.7s/pcs |
| 2.4.18 | 管道修護專用車 | 臺 | 系統操作壓力≥0.8MPa；輸(shu)送速度覆蓋(12～36)m/s；系(xi)統操作電(dian)壓(ya)24V |
| 2.4.19 | 鍍膜機/退鍍機 | 套 | 電極距離可處理物的高度覆蓋(1～2)mm；處理速(su)度覆(fu)蓋(0.5～4)m/min； |
| 一次性退鍍后水接觸(chu)角覆蓋(gai)(10～25)° | |||
| 3.電子專用裝備 | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 3.1 | 半導體及顯示面板制造裝備 | ||
| 3.1.1 | 半導體測試分選機 | 臺 | 生產能力≥50000pcs/h；MTBA(平均報警間隔)≥1h；MTBF(平均(jun)故障間隔(ge))≥220h |
| 3.1.2 | DLEA系列全自動曝光機 | 臺 | 有效曝光面積≥(2500×1300)mm2；能量均勻度(du)≥92%；線路解析度：35μm/35μm |
| 3.1.3 | 點膠機 | 臺 | 運行速度≥500mm/s；重復定位精度≤±0.03mm；點膠頻(pin)率≥999秒/次(ci) |
| 3.1.4 | 高精度探針臺 | 臺 | X/Y軸定位精度≤±3μm；X/Y軸重復定位精度 ≤±1μm；Z軸重(zhong)復定位精(jing)度≤±1μm；硅(gui)片載(zai)臺平面度≤10μm，最(zui)大負載≥980N |
| 3.1.5 | 芯片老化機 | 臺 | TEC溫度控制范圍覆蓋(25~85)℃；溫度(du)均勻(yun)性≤±1℃；整(zheng)機通(tong)道(dao)數≥192 |
| 3.1.6 | OLED全自(zi)動貼合(he)機 | 臺 | 貼合位置偏差≤±0.1mm；折彎重復精(jing)度≤±20μm；crack比例(li)≤0.3%；貼合效率≤12秒/片(pian) |
| 3.1.7 | 沉積薄膜生長設備 | 臺 | 合成+測試≥256樣品/天；薄膜雜質≤5ppm；薄(bo)膜(mo)厚度(du)范圍覆蓋(1nm~10μm) |
| 3.1.8 | 自動OCA全(quan)貼(tie)合(he)機(ji) | 臺 | 點膠位置偏差≤±0.7mm；LCM貼合位置偏(pian)差≤±50μm； |
| 檢測誤判率≤0.5%(檢測對象(xiang)點膠、全貼合(he)精度(du)、全貼合(he)氣(qi)泡)，過檢(jian)率≤0.5% | |||
| 3.1.9 | 柔性顯示面板加壓脫泡設備 | 臺 | 設備稼動率≥95%；生(sheng)產節拍≤4s；加壓最大允許誤差(cha)≤±0.03Mpa； |
| 尺寸誤差≤±5mm | |||
| 3.1.10 | 電子薄膜生產設備 | 臺 | 幅寬≥1200mm；生產速度≥12m/min；產能≥19.4kg/h；薄(bo)膜厚(hou)度范圍覆蓋(7.5~50)μm |
| 3.1.11 | 晶圓自動印刷機 | 臺 | 對位位置(zhi)偏差(cha)≤±0.007mm；生產節(jie)拍(pai)≤15秒/件；產品尺寸(cun)范圍覆蓋(gai)(?25~?100)mm.；產品合格率≥99% |
| 3.1.12 | 高精度全自動固晶機 | 臺 | 貼片位置偏差≤±5μm @3sigma；貼片效率≥800pcs/h |
| 3.1.13 | 小功率芯片老化機 | 臺 | 最大輸出2.5V/500mA；TEC溫度控制(zhi)范(fan)圍覆蓋(25~85)℃；溫度(du)均勻(yun)性≤±0.5℃ |
| 3.1.14 | OLED顯示屏自動檢測機 | 臺 | 功能范圍：點線AOI檢查、Mura AOI檢查、外觀AOI檢測、Cell預(yu)Gamma、TP測試(shi)等；壓接位置偏差(cha)≤±10μm，壓接合格率≥99.99%；點/線不良(liang)檢(jian)出率≥99.9% |
| 3.1.15 | OLED屏(ping)體模組終測設備 | 臺 | 功能范圍：點線AOI檢查、Mura AOI檢(jian)查、Gamma白平衡(heng)校(xiao)正及(ji)OTP、TP測(ce)試等；壓接合(he)格率≥99.99%；Mura缺陷檢測(ce)準確率≥97.5%；點/線缺陷檢測準確(que)率≥99.5% |
| 3.1.16 | 封裝三維形貌測量設備 | 套 | 三維形貌測量精度≤0.2nm；膜(mo)厚測量(liang)精度≤0.1nm；晶(jing)圓(yuan)厚度(du)測量精度(du)≤0.25μm；系統吞吐量≥70 WPH |
| 3.1.17 | 晶圓三維表面缺陷檢測設備 | 套 | 正面：檢測最小缺陷尺寸誤差≤1μm，產率≥65 pcs/h@4.5μm分辨率(lv)，缺陷抓取率(lv)≥99.5%；背(bei)面：產(chan)率(lv)≥70 pcs/h@6.5μm分辨率，缺陷抓取率≥99.5%；邊緣：檢(jian)測(ce)最(zui)小缺陷尺寸誤差(cha)≤3.3μm，產率≥50 pcs/h(五個位置(zhi)數據)，缺陷抓取率≥99% |
| 3.1.18 | OLED柔性顯示(shi)屏缺陷檢測系統 | 套 | 支持柔性面板尺寸優于6代面板(1850 mm ×1500 mm)； |
| 分辨率≤0.8μm；檢測效率≥2張/秒 (復檢200個缺陷圖片) | |||
| 3.1.19 | 卷對卷IC高速鍍輪式鍍銀(yin)設備 | 套 | 產品片寬覆蓋(10~120)mm；片(pian)厚范(fan)圍(wei)覆蓋(0.08~1.0)mm；鍍(du)區(qu)厚(hou)度均勻性≤±0.015mm |
| 3.1.20 | 固態光學膠貼合機 | 臺 | Panel+C/F貼合(STS)：Rolloer+Stage，貼合位置偏差≤±0.075mm(3sigma)；Panel+C/F貼合(STS)+OCA(STS)：Rolloer+Stage，貼合位置偏差≤±0.075mm(3sigma) |
| 3.1.21 | 車用顯示屏曲面貼合自動線 | 套 | Plasma清潔CG水滴角≤15?；3D硅膠仿形(xing)貼合中硅膠的硬度(45~55)HRB；真空貼合(he)壓力≤50Pa；貼合位置(zhi)偏差≤±0.15mm |
| 3.2 | 電池生產裝備 | ||
| 3.2.1 | 方形鋁殼三元鋰電池自動裝配線 | 套 | 熱壓板壓力最大允許誤差≤980N；電芯配(pei)對誤差≤0.3mm；產品合格(ge)率≥99.5%；生(sheng)產(chan)效率≥12件/分；設備(bei)稼動率≥95% |
| 3.2.2 | 鋰離子電池全自動注液系統 | 套 | 每條注液線效率≥8pcs/min，合格率≥99.8%；電子稱(cheng)重質量誤(wu)差≤±0.1g；響應時間≤1s；注液相對誤差≤±0.75% |
| 3.2.3 | 全自動真空干燥注液機 | 臺 | 注液相對誤差≤±1%；一(yi)次注液合格(ge)率＞99%；注液量≤500ml |
| 3.2.4 | 鋰電池隔膜干法單向拉伸生產線 | 套 | 產品最大寬幅≥1200mm；拉伸/收卷速度≥30m/min；拉伸(shen)層數≥24層；速度(du)相(xiang)對誤(wu)差≤±3% |
| 3.2.5 | 并線式鋰電真空干燥裝備線 | 套 | 腔體真空度≤10Pa ；溫度均(jun)勻性≤±3℃；產能≥5000pcs/h；生(sheng)產電池類型數≥5 |
| 3.2.6 | 鋰電池全自動疊片機 | 臺 | 疊片速度≥5pcs/s；極片裁(cai)切后長度誤(wu)差≤±0.2mm；電芯(xin)整體對齊位置(zhi)偏(pian)差(cha)≤±0.5mm；產品(pin)合格率(lv)≥99% |
| 3.2.7 | 高速五金切片 | 臺 | 模切速度≥180pcs/min；糾(jiu)偏(pian)最(zui)大允許誤差(cha)≤±0.1mm；送(song)料(liao)位(wei)置偏差≤±0.1mm；極片成型(xing)誤(wu)差≤±0.1mm；縱向(xiang)毛刺長(chang)度(du)(Vh)≤12μm |
| 3.2.8 | 鋰電池高溫靜置爐 | 臺 | 加熱溫度控制范圍覆(fu)蓋(gai)(30~80)℃；初次(ci)升溫時間(jian)≤0.5h[加熱(30-80)℃]；首次合格率≥99.5% |
| 3.2.9 | 等離子增強化學氣相沉積(PECVD)鍍膜系(xi)統 | 臺 | 產能≥4000pcs/h；碎片(pian)率≤0.05%；uptime≥95%；片內膜厚(hou)不均勻(yun)性≤5%，片間膜厚不(bu)均勻性≤4%，批間膜厚不均勻性≤4% |
| 3.2.10 | 鋰電池隔膜涂覆設備 | 臺 | 整機涂布速度≥100m/min；機械速度≥150m/min；涂布寬度≥1200mm |
| 3.2.11 | 3.4mm超窄幅(fu)極片分切機 | 臺 | 分切毛刺尺寸≤4μm；分(fen)切(qie)速度≥20m/mim；分切尺寸最大允(yun)許誤差≤±0.05mm；張力最大允許誤差≤±1N；速度相對誤差≤±0.5% |
| 3.2.12 | 鋰電池激光制片設備 | 臺 | 激光切割尺寸誤差≤±0.2mm；毛刺尺寸≤20μm，熱影(ying)響區(qu)≤100μm；生產速度≥90m/min；分切(qie)寬度示值(zhi)誤差≤±0.1mm |
| 3.2.13 | 高速分散機 | 臺 | 分散區最大線速度≥30m/s；單(dan)批次制(zhi)漿時間≤2h；單機產(chan)能：負極漿料≥25kg/min；正(zheng)極(ji)漿料≥33kg/min |
| 3.2.14 | 鋰電池全自動切邊粘膠生產線 | 套 | 極耳位置偏差≤±0.3mm；對位位置(zhi)偏(pian)差≤±0.35mm； |
| 點膠位置偏差≤±1.5mm；生產效(xiao)率≥16pcs/min | |||
| 3.2.15 | 方形鋰電池正壓氦檢機 | 臺 | 最小可檢漏率：1.0×10-12Pa·m3/s；漏率范圍(wei)：(1.0×10-12～1.0×10-3)Pa·m3/s； |
| 響應時間≤1s | |||
| 3.2.16 | 無延展輥壓機 | 臺 | 輥壓后厚度均勻性≤±1.5μm；軋輥表面硬度≥68HRC； |
| 張力控制最大允許誤差≤±2N；收卷尺寸偏差≤±0.4mm | |||
| 3.2.17 | 納米陶瓷砂磨機 | 臺 | 分體流量≥4000L/h；最大轉速(su)≥3000rpm，能耗≤0.2kWh/kg；承受缸(gang)體壓(ya)力≥0.3MPa，缸體溫度≤40℃ |
| 3.2.18 | CE異形鋰電池切(qie)疊一體機 | 臺 | 疊片效率≥1pcs/s；極片(pian)尺寸誤差≤±0.1mm；陰(yin)陽(yang)極片邊緣位置偏差(cha)≤±0.3mm；隔膜對齊位置偏(pian)差≤±0.3 |
| 3.2.19 | 鋰離子電池電芯焊接貼膠一體機 | 臺 | 焊接拉力≥10N(基于(yu)1160電芯)；下層熔深(shen)：陰極(0.04～0.2)mm，陽極(0.04～0.12)mm；正負極鎳(nie)片間距(2.42±0.3)mm；側膠位置偏(pian)差(cha)≤±0.3mm |
| 3.2.20 | 軟包鋰電池自動真空封裝機 | 臺 | 生產效率≥16pcs/min；封印(yin)厚(hou)度(du)誤差(cha)≤±0.01mm，未封區(qu)尺寸范圍(0.2～0.8)mm |
| 3.3 | 檢測測量儀器 | ||
| 3.3.1 | AI外觀分(fen)選機 | 臺 | 漏檢率≤0.01%(良(liang)品(pin)倉(cang)中的(de)不(bu)良(liang)品(pin))；過撿率(lv)≤5%(不良(liang)品倉中的(de)良(liang)品)； |
| 設備稼動率≥95%[稼動(dong)率=(實(shi)際(ji)產出(chu)數量/理論產出數量)×100%] | |||
| 3.3.2 | 半導體透視檢測設備 | 臺 | 幾何放大倍率≥480；光管(guan)電壓≥90kV；分辨率(lv)≥110 lp/cm |
| 3.3.3 | 二維自動跟蹤軌跡測試系統 | 臺 | 水平方向：轉動角度覆蓋(0°～360°)，角速(su)度≥300°/s，角加速度≥240°/s2；俯仰方向：轉動角度(du)覆蓋(0°～30°)，角速度≥60°/s，角加(jia)速度≥60°/s2 |
| 3.3.4 | 半導體器件測試系統 | 臺 | PCB板尺寸≥[350(L)×250(W)×50(H)]mm；直通率≥99.9%；重(zhong)復(fu)定位精度≤0.3mm；PCB板(ban)傳送速度≥4m/min；設(she)備(bei)節拍≤20s |
| 3.3.5 | 儲能與動力測試設備 | 臺 | 最大直流輸出功率≥800kW；輸入側(ce)電流諧(xie)波誤差(THD)≤5%；輸(shu)出直流電(dian)壓相對誤差(cha)≤±0.1%FS；輸出直流電流相對誤差(cha)≤±0.1%FS |
| 3.3.6 | 氦檢漏設備 | 臺 | 油箱總成的泄漏率檢測最大允許誤(wu)差≤5×10-5Mbar·L/min；油箱總(zong)成的運行周期(qi)≤65s；檢測油(you)箱的容積覆蓋(55～90)L；氦氣回收利用率(lv)≥85% |
| 3.3.7 | 坐標測量機 | 臺 | 示值誤差≤±(0.6+L/500)μm；探測誤差≤0.8μm；單軸最大速(su)度≥250 mm/s |
| 3.4 | 其他電子專用裝備 | ||
| 3.4.1 | 3C小件精密組裝測(ce)試(shi)生產線 | 套 | 產能≥700pcs/h；綜合組裝位置偏差≤±0.02mm；稼(jia)動率≥95%；產品合格(ge)率≥99% ; |
| 3.4.2 | 精密電子自動貼裝系統 | 套 | 貼裝速度≥6000pcs/h；貼裝位置偏差≤±0.1mm；貼裝范圍覆(fu)蓋(1～90)mm；調試時間≤10分鐘/顆(ke)；托盤定位精度(du)≤±0.01mm |
| 4.醫療專用裝備 | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 4.1 | 醫用成像設備 | ||
| 4.1.1 | 數字胃腸X射(she)線(xian)系統(tong) | 臺 | 點片空間分辨率≥3.4 lp/mm；透視空間分辨率≥3.1 lp/mm；攝影管電流范(fan)圍覆(fu)蓋(10～1000)mA，電流相(xiang)對偏(pian)差≤±20%；透視管電流范圍覆蓋(0.5～20)mA，電流偏差≤±(10%RD＋1mA) |
| 4.1.2 | 多光譜眼底照相機 | 臺 | 視場角≥63°；最小瞳孔(kong)直徑≤3.5mm(2.5mm可拍攝(she)45°眼(yan)底范圍)； |
| 像素≥1600萬像素 | |||
| 4.1.3 | 超導型磁共振成像系統 | 臺 | 主磁場強度≥3.0T(3.0T誤差(cha)≤±0.5%)；譜儀射(she)頻系(xi)統通道數≥16；零液氦揮(hui)發 |
| 4.1.4 | 多排螺旋計算機斷層掃描(CT)系統(tong) | 臺 | 球管熱容量≥8.0 MHU；探測器Z軸(zhou)排列數≥64排；探測器每排單(dan)元數≥896個；最快(kuai)轉速≤0.37s |
| 4.1.5 | 數字化乳腺X射線攝(she)影系統 | 臺 | 整機最大輸出功率≥5kVA；X射(she)線管最大電(dian)壓40kV；X射(she)線管最大電流200mA，X射(she)線管最(zui)大電(dian)流時間積600mAs；空間分(fen)辨率≥10 lp/mm |
| 4.1.6 | 眼科專用彩色多普勒超聲診斷系統 | 臺 | 成像功能≥3(B型、D型、PW型)；物理通道數≥64；高頻線陣探頭(tou)支持數量≥192 |
| 4.1.7 | 多功能網絡視頻電子內窺鏡攝像系統 | 臺 | 攝像頭分辨率≥1100TVL；攝像頭(tou)照度≥1Lx；水平清晰度(du)≥(1920×1080)P |
| 4.1.8 | 超高清內窺鏡攝像系統 | 臺 | 清晰度≥(3840×2160)P；水平線分(fen)辨(bian)率≥2000線；峰值(zhi)信(xin)噪比≥80dB； |
| 超高清視頻接口數≥5 | |||
| 4.2 | 治療設備 | ||
| 4.2.1 | 地氟烷麻醉氣體載藥設備 | 臺 | 標定條件下的輸出濃度相對誤差≤設定濃(nong)度的±15%或輸送介質的±0.5%；流量范(fan)圍覆蓋(0.2~15)L/min；最(zui)大加藥量≥250mL |
| 4.2.2 | 腦控手部康復機器人 | 臺 | 采集通道數≥24；電壓測量(liang)相對誤差(cha)≤±10%；耐極化(hua)電壓相(xiang)對誤差≤±5%；可實現動作個數≥20個(須包括(kuo)：集團抓手、數字1-9、對指(zhi)、單指(zhi)分離運(yun)動、拇指(zhi)環繞) |
| 4.2.3 | 一次性醫用電子胃鏡 | 臺 | 頭端部外徑≤(11±0.5)mm；最大插入部外徑≤11mm；彎角(上)≥180o，彎角(下、左、右)≥150o；照(zhao)度≥8000Lx(10mm)；分辨(bian)率≥3.5 lp/mm |
| 4.2.4 | 磁控膠囊內窺鏡系統 | 臺 | 膠囊式內窺鏡質量≤(2.7±0.5)g；膠囊(nang)式(shi)內(nei)窺鏡工作(zuo)時間≥6h；頂(ding)點視場角≥(145±20)°；光(guang)學分辨率≥8 lp/mm；工(gong)作距范圍≥50mm |
| 4.2.5 | 紫外光治療儀 | 臺 | 輸出光的輻射強度≥30mW/cm2；治療時間覆蓋(1～140)s，步(bu)長≤1s；紅斑測試(shi)的時間覆蓋(3～27)s，步進≤3s |
| 4.2.6 | 光纖激光治療儀 | 臺 | 功率穩定性≤±5%；最小光斑(ban)直(zhi)徑(jing)≤0.2mm；最大掃描面(mian)積≥(20×20)mm |
| 4.2.7 | 手術導航系統 | 臺 | 重復定位精度≤±0.25mm(RMS)；空間跟蹤(zong)范(fan)圍：X≥1900mm，Y≥1400mm，Z≥3000mm；臨床導航定位精度≤±1.5mm |
| 4.3 | 其他醫療器械 | ||
| 4.3.1 | 醫療專用微型電機生產系統 | 套 | 組裝最(zui)大允許誤差≤±0.01mm；稼動率≥95%；C/T＜8s |
| 4.3.2 | 頭部多源γ射(she)束(shu)立體定向(xiang)放射(she)治療系統 | 臺 | 定位參考點偏差≤0.18mm；初次裝放射源(yuan)時(shi)焦(jiao)點(dian)標稱吸收劑量(liang)率≥3.1Gy/min；敏感組織(zhi)保護模塊：遮擋(dang)區(qu)域(yu)內劑量(liang)與照射區(qu)域(yu)內劑量(liang)之(zhi)比(bi)為≤3.6%；最小聚焦野(ye)與最大聚焦野(ye)的焦點吸(xi)收劑量之比≥0.79，最(zui)小聚(ju)焦野劑(ji)量梯(ti)度(半影)≤3.0mm |
| 4.3.3 | 基因測序儀 | 臺 | 芯片數／Run≥4；Lane/芯(xin)片(pian)≥1；有效(xiao)reads數／芯片(pian)≥5000M； |
| 支持讀長≥PE150 | |||
| 4.3.4 | 模塊化樣本制備工作站 | 臺 | 儀器通量：支持樣本數量≥16；樣本(ben)類(lei)型：全血；移液范圍覆(fu)蓋(2~200)μL；移液最大(da)允許誤差(cha)：≤±5%(2μL)，≤±1%(200μL) |
| 4.3.5 | 恒溫核酸擴增分析儀及配套試劑盒 | 臺 | 檢測時間≤30min；檢(jian)錯(cuo)率≤5%；試(shi)劑(ji)檢測靈(ling)敏度≥100copies/ml |
| 4.3.6 | 全自動細胞形態分析系統 | 臺 | 高精密平臺定位精度≤±2.5μm；顯微成像對焦定位(wei)誤差(cha)≤±0.1μm； |
| 自動定位準確度≥97% | |||
| 4.3.7 | 全自動血液細胞及特定蛋白分析系統 | 臺 | 全血模式檢測速度≥100pcs/h；檢(jian)測參數≥48項；研究參數(shu)≥41項 |
| 4.3.8 | 數字乳腺體層合成攝影系統 | 臺 | 電流時間積的調節范圍覆蓋(2~630)mAs；空間(jian)分辨率≥7 lp/mm；掃描角度范圍(wei)覆蓋(-20~+20)°；成像(xiang)張(zhang)數≥17張；重建層厚≤1mm |
| 4.3.9 | 磁共振輸注工作站 | 臺 | 支持設備類型數≥2(1.5T，3.0T)；輸液泵輸注(zhu)流速范(fan)圍(wei)覆蓋(0.1-2000)ml/h，輸(shu)注相(xiang)對誤(wu)差≤±5%；阻塞壓(ya)力檢測范圍覆(fu)蓋(6.7~149.6)kPa |
| 4.3.10 | 遠程超聲診斷系統 | 臺 | 主從控制X/Y方向位置(zhi)重復性(xing)≤0.1mm；主從控制姿態重復性≤0.5°；主從(cong)控制穩(wen)定接觸力范圍覆蓋(3~40)N；最大(da)閾值誤差(cha)≤±3N；主從(cong)控制從(cong)動設備末端執行器有效工作區間標稱值≥[600(L)×300(W)×350(H)]mm |
| 5.汽車及軌道交通裝備 | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 5.1 | 新能源及智能網聯汽車 | ||
| 5.1.1 | 燃料電池電堆 | 臺 | 單套電堆額定功率≥140kW(兩個(ge)MP03-72A燃(ran)料電(dian)池電(dian)堆(dui)模(mo)塊串聯(lian))，單(dan)模(mo)塊額定功(gong)率≥72kW；體積比功率(lv)≥2.2kW/L；壽命≥10000h；冷啟動溫度≤-30℃ |
| 5.1.2 | 港口專用增程式全電動低速牽引車 | 臺 | 牽引總質量≥70000kg；最高時速≥40km/h；爬(pa)坡度≥6.5% |
| 5.1.3 | 港口專用分布式全電動低速牽引車 | 臺 | 額定容量≥630Ah；標稱電壓≥518V；額定存儲(chu)能量≥325kWh |
| 5.2 | 軌道交通及關鍵系統 | ||
| 5.2.1 | 膠輪有軌電車 | 臺 | 設計速度≥80km/h；最(zui)小轉彎半(ban)徑(jing)≤15m；最大爬坡能(neng)力≥120‰ |
| 5.2.2 | SASⅡ道(dao)岔 | 臺 | 轉轍時間≤8s；側線過岔速度≥15km/h；安全等級(ji)≥SIL4 |
| 5.2.3 | 城市軌道交通CBTC信號系統 | 套 | 測速分辨率≤1km/h；測速誤差≤±3km/h，位置最(zui)大(da)測量誤差：≤0.5m(車站站臺)，≤10m(區(qu)間運行)，≤1m(折返(fan)停車)；控制命令反應時間(jian)≤1s，響應時(shi)間≤0.75s，系統故(gu)障延(yan)時≤0.75s，故障(zhang)后重新(xin)配置時間＜50ms；傳輸(shu)速率(lv)：≥1Mbps(無(wu)線)，≥100Mbps(有線(xian)) |
| 5.2.4 | 軌道交通綜合調度系統 | 套 | 安全完整性等級≥SIL2；系統(tong)容量(liang)(系統(tong)最高監測點)≥100萬；系統故障恢復時間 MTTR≤30min；系統平均無故障時(shi)間 MTBF≥50000h |
| 5.2.5 | 軌道交通車輛牽引系統 | 套 | 供電方式：直流1500V架線式；車輛編組數≥6(4動2拖)；列車最大運(yun)行速度≥80km/h；平均初始(shi)加速度≥1.0m/s2(速度≤35km/h)；平均加速(su)度(du)≥ 0.6m/s2(速度≤80km/h)；常用(yong)制動平均(jun)減速度≥1.0m/s2(速(su)度(du)≤80km/h) |
| 6.航空裝備與衛星應用 | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 6.1 | 測繪無人機 | 臺 | 任務最大載荷≥154.5N；上升最(zui)大(da)高度≥2680m(海拔條(tiao)件4740m)；抗風能力≥7級；工作溫度范圍覆(fu)蓋(gai)(-20～55)℃ |
| 6.2 | 垂直起降固定翼無人機 | 臺 | 最大飛行速度≥130 km/h；最大續航時間≥150min；最(zui)大(da)起飛海拔≥4500m |
| 6.3 | 警用旋翼無人機 | 臺 | 最大抗風能力≥7級；實用升限≥4000m；最大通信距離≥15km |
| 6.4 | 遙感試驗小衛星 | 臺 | 寬幅相機空間(jian)分(fen)辨(bian)率≤74m@739km，幅寬≥744km@739km；中(zhong)等(deng)分辨(bian)率(lv)相(xiang)機空間分辨率≤8.5m@739km，幅寬≥24.5km@739km；姿態指向精度優于0.2°，姿態穩(wen)定度≤0.01°/s，姿態機(ji)動能力≤±30°/60s；數據傳輸能力≥25Mbps |
| 6.5 | 科學實驗衛星 | 臺 | 寬幅相機譜段范圍覆蓋(420~700)nm；星(xing)下點分辨率≤4.9m@492km；面陣成像幅寬≥(19.9×15)km@492km，視頻成像幅寬≥(18.7×10.5)km@492km |
| 6.6 | 空間組網通訊衛星 | 臺 | L頻(pin)段(duan)：上行頻率覆(fu)蓋(1668～1675)MHz，下行(xing)頻率覆(fu)蓋(1518～1525)MHz； |
| Ka頻段(duan)：上行(xing)頻率覆蓋(gai)(27.5～30.0)GHz，下行頻率覆蓋(17.7～20.2)GHz； | |||
| ADS-B中心頻率1090MHz；ADS-B工作帶寬(kuan)≥1Mbps | |||
| 6.7 | 高通量衛星基帶通信系統 | 套 | 帶寬≥500Msps；高階調制方式≥256APSK；衛星接入(ru)網(wang)與5G核(he)心網無縫融合，協議轉(zhuan)換時(shi)間≤0.2s |
| 6.8 | 全自動無人駕駛登機橋 | 臺 | 平均靠接時間≤60s；靠接位置(zhi)偏差：角(jiao)擺（水平方向）≤±100mm(機身左右方向)，俯仰（前后方向(xiang)）≤±40mm(機(ji)身(shen)垂直方向)，橫滾（上下方向）≤±20mm |
| 6.9 | 機場地面設備監控及運營管理系統 | 套 | 信息響應時間≤2秒(從(cong)設備到監控(kong)界面)；系統的可靠性(可(ke)用性)≥99.99%； |
| 實現地面設備服務過程的3D實(shi)時監控和歷史回放 | |||
| 7. 船舶及海洋工程裝備 | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 7.1 | 油田生產回注處理系統裝備 | 套 | 核桃殼過濾器出水端流量≥88m3/h，陶瓷膜過濾器出水端流量≥80m3/h；出口生產(chan)水(shui)含(han)油量≤8mg/L，懸浮物(wu)≤3mg/L，固體(ti)顆(ke)粒粒徑(jing)中值≤2μm |
| 7.2 | 潛水支持船 | 臺 | 飽和潛水≥300m；ROV潛水≥3000m；主動式海浪(lang)升(sheng)沉補(bu)償(chang)吊機≥400噸 |
| 7.3 | 海上超大型多功能浮臺 | 臺 | 浮臺尺寸≥(75×30)m；承載(zai)人數≥100人；能抵抗12級臺風或有義波高(gao)≥3.5m |
| 7.4 | 高速高性能巡邏艇 | 臺 | 總長≥14.6m；滿載排水量≥10.5噸；航速≥45節；抗風(feng)能(neng)力≥8級 |
| 8. 新(xin)型輕工機械及節(jie)能環保裝(zhuang)備(bei) | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 8.1 | 智能物流倉儲系統 | 套 | 輸送最大速度≥15m/min；設備(bei)稼動率≥98%；定位后定位精度≤±1mm，單(dan)托盤(pan)電池(chi)數(shu)量≥1200pcs/h(單條線) |
| 8.2 | 廚電燃氣灶智能柔性總裝配線 | 套 | 線體速度≥18m/min；貼標(biao)尺寸誤差≤±2mm；燃氣壁掛(gua)爐(lu)產(chan)率≥60pcs/h；產品(pin)合(he)格率≥95% |
| 8.3 | 智能化涂裝凈化成套設備 | 套 | 抽風量≥26000m3/h，風壓(ya)≥700Pa；吹(chui)風時間覆蓋(0～99)s；溫度控制范(fan)圍(22±3)℃；相對濕(shi)度控(kong)制范圍(55±10)%RH |
| 8.4 | 背板貼合機 | 臺 | 貼附位(wei)置誤差≤±50μm；兼容范圍(127～294.64)mm；生產節拍≤4.5s/pcs(尺寸范圍(wei)(127～177.8)mm)，生產(chan)節拍≤6.5s/pcs(尺寸(cun)范圍(wei)(177.8～294.64)mm)；貼合后新(xin)增翹(qiao)曲量≤2mm(翹曲最大(da)位(wei)置(zhi)距(ju)離水平面(mian)的高度(du)) |
| 8.5 | 動力電池拆解及回收自動化生產線 | 套 | 容量差≤5%，內阻差(cha)≤10%；機器人(ren)定位精度(du)≤0.2mm；柔性利用率≥90%； |
| 粉料殘留率≤5% | |||
| 8.6 | 切割后清洗機 | 臺 | 產品尺寸覆蓋(101.6～396.24)mm；產品(pin)厚度覆蓋(gai)(0.3～1.4)mm；生產(chan)節拍≤4.5s/pcs(產品尺寸(cun)≤182.88mm)，生產節拍≤5s/pcs(182.88mm＜產品尺寸≤246.38mm)，生產節(jie)拍≤9s/pcs(246.38mm＜產品尺寸(cun)≤396.24mm) |
| 9. 重大技術裝備關鍵配套基礎件 | |||
| 編號 | 產品分類及名稱 | 單位 | 產品性能技術參數 |
| 9.1 | 加工中心用高速大功率電主軸 | 件 | 額定扭矩≥48Nm(S1/100%)；額定(ding)功率(lv)≥25KW(S1/100%)； |
| 靜態偏擺≤0.008mm(標準檢測棒(bang)300mm處)；額定轉(zhuan)速≥18000rpm ; ; | |||
| 9.2 | 雙向饋電集成控制器 | 件 | 峰值功率≥130kw，峰值電(dian)流≥450A；集成控制箱(xiang)體積＜26L，重量＜23kg；EMC滿足CISPER 25，CLASS 3的要求 |
| 9.3 | 扁平大扭矩力矩電機 | 件 | 瞬時最大輸出扭矩≥2000Nm，連續最大扭矩≥750Nm；定位精度≤±80″，重復(fu)定位精度≤±2.5″；負載安(an)裝面平面度≤10μm |
| 9.4 | 全SiC隔離型(xing)DCDC電源(yuan) | 件 | 開關頻率≥200kHz；功率密(mi)度≥2kW/L，其中最高內部單電源模組功率(lv)密度≥20kW/L；輸入輸出電壓(ya)電流紋(wen)波≤1%；最大輸入輸出變比≥500:1 |
| 9.5 | 無縫鋼管廠主軋機用大功率變頻器 | 件 | 變頻器額定容量≥12MW；網側額定電壓(ya)≥3300V；機側額定電流(liu)≥2100A； |
| 主回路效率≥98.5%；開關頻(pin)率(lv)≥750Hz | |||
| 9.6 | 石油鉆井水冷多傳變頻器 | 件 | 逆變功率覆蓋(800~1700)kW(電壓(ya)690V)；調速范圍OLVC：1:200，CLVC：1:1000，VF：1:50，穩速(su)相對(dui)誤(wu)差OLVC:≤0.2%，CLVC:≤0.01%；轉矩相(xiang)對(dui)誤差OLVC:≤5%，CLVC:≤5% |
| 9.7 | 海洋工程變頻器 | 件 | 逆變器V/f(開環)速(su)度控(kong)制精度≤±1.0%；逆(ni)變器SVC(開環(huan)矢量(liang))速度(du)控制精度(du)≤±0.5%；逆(ni)變器FVC(閉(bi)環矢(shi)量)速度控(kong)制(zhi)精度≤±0.05%；逆變器轉矩控制(zhi)響應時間：開(kai)環控制(zhi)≤10ms，閉環控制(zhi)≤5ms；速度靜(jing)態控制精(jing)度：開(kai)環控制電機滑差(cha)≤10％，閉環(huan)控(kong)制額定轉速≤0.05% |
| 9.8 | 環衛車純電動底盤 | 件 | 最高車速≥89km/h；最(zui)大爬坡度≥35%；充(chong)電時間≤2h； |
| 等速續駛里程≥300 km | |||
| 9.9 | 可溶橋塞 | 件 | 最高工作溫度≥185℃；最高工(gong)作(zuo)壓力≥68.9MPa；溶解時間≤150h(水溫(wen)90℃，氯離(li)子含量20000ppm) |
| 9.1 | 大噸位電動輪自卸車牽引變流器 | 件 | 額定輸出容量≥2×1050 kVA；最大輸出容量≥2×2100kVA；牽(qian)引最大(da)輸出電(dian)流(liu)≥2×1620A；制動最大(da)輸出電(dian)流≥2×980A；噸(dun)位≥400噸(dun) |
| 9.11 | 高速磁浮列車用大功率牽引變流器 | 件 | 額定容量≥12MVA；交流額定線電壓≥3.3kV；交流額(e)定電流≥2100A；系統效率(lv)≥98.5%；開(kai)關頻(pin)率≥750Hz |
| 9.12 | 燃氣輪機尾筒出口密封片 | 件 | 服役期冷卻孔裂紋≤15mm；產(chan)品隨燃機運行≥24000 EOH 或≥1600次啟(qi)停(ting) |
